应用范围：
本设备主要用于蓝宝石衬底、蓝宝石外延片、硅片、陶瓷片、石英晶体、碳化硅、锗片以及其他半导体材料的单面精密研磨。
设备原理及特点：
1、本设备为单面精密研磨设备,采用先进的机械结构和多种先进控制方法,研磨加工效率高，运行稳定。
2、整机采用PLC+触摸屏控制系统,设备参数设置和操作简单方便,系统运行稳定性高。
3、主电机采用变频调速控制,实现主机软启动、软停机，降低设备运行冲击,减少工件损伤。
4、工件研磨压力采用气缸加压方式,通过电气比例阀控制实现压力的闭环控制,保证极高的施压精度与稳定性。
5、上压盘采用主动驱动方式,在确保产品研磨速率的前提下保证各工位研磨加工的统一性。
6、研磨盘与上压盘都设置了冷却水冷却功能,在保证研磨液发挥最大效率的同时减少研磨盘面的变形。
7、设备自带盘面修整机,盘面修整后可保证0.01mm的盘面平整度。
+8613622378685
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微信扫一扫主要技术参数：
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型号 |
FD-7104XA |
FD-8104XA |
FD-9104XA |
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磨盘规格 |
700x250x12mm |
810x255x12mm |
910x250x12mm |
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陶瓷盘直径 |
240~260mm |
305mm |
360mm |
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主电机功率 |
5.5KW/380V |
7.5KW/380V |
7.5KW/380V |
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压盘电机功率 |
0.4KW/380Vx4 |
0.4KW/380Vx4 |
0.4KW/380Vx4 |
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修整电机功率 |
0.2KW/380V |
0.2KW/380V |
0.2KW/380V |
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主电机转速 |
10-100rpm(max) |
5-90rpm(max) |
5-90rpm(max) |
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设备工位数 |
4个 |
4个 |
4个 |
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修盘方式 |
自动修盘机 |
自动修盘机 |
自动修盘机 |
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设备规格 |
1050x1950x2300mm |
1200x2200x2500mm |
1200x1800x2300mm |
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设备重量 |
2100KG |
2350KG |
2500KG |
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